Akademie-Verlag · 1982
Chemische Dampfablagerung
CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
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- Author
- Heinrich Arnold
- Imprint
- Berlin: Akademie-Verlag, 1982
- Language
- German
- Pages
- 158
- Sources
- Open Library edition OL3249026M; Library of Congress record (LCCN 83165806); K10plus record 1614106045; German National Library record 821069713
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Chicago
Arnold, Heinrich. Chemische Dampfablagerung: CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik. Berlin: Akademie-Verlag, 1982.
MLA
Arnold, Heinrich. Chemische Dampfablagerung: CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik. Akademie-Verlag, 1982.
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Arnold, H. (1982). Chemische Dampfablagerung: CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik. Akademie-Verlag.